面積（m²）

潔   凈    度

100級

10000級

100000級

驗證

監測

驗證

監測

驗證

監測

小于10

2~ 3

1

2

1

2

－

10~20

4

2

2

1

2

－

20~40

8

3

2

1

2

－

40~100

16

4

4

1

2

－

100~200

40

10

3

－

200~400

80

20

6

－

400

160

40

13

－